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純度氣體的保證:VICI氣體純化解決方案

更新時間:2025-12-08

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鄭州儀器現(xiàn)貨進(jìn)口VICI--Valco氦氣純化器(HP2)可以隨時提供氦氣及其它惰性氣體的純化氣體,例如可以將Ne、Ar、Kr和Xe中的ppm級以下的不純氣體純化。氮?dú)饧兓鳎∟P2)同樣地作用于氮?dú)?/p>

應(yīng)用范圍:

GC / GC-MS 的載氣純化:去除氧氣和水分,防止色譜柱降解和基線不穩(wěn);去除烴類,降低背景噪聲,提高檢測靈敏度。

  • 高靈敏度檢測器的保護(hù):如保護(hù)MS的燈絲不被氧化,保護(hù)FID的噴嘴等。

  • 半導(dǎo)體制造:在晶圓加工過程中,使用超高純度的惰性氣體創(chuàng)造無氧無水的環(huán)境。

  • 核磁共振:為超導(dǎo)磁體提供保護(hù)氣,防止液氦/液氮過快揮發(fā)


Valco氣體純化器的純化基質(zhì)是一種無揮發(fā)性、有加熱活化的吸附性合金,此穩(wěn)定的合金包含在焊接組件中,所以可以安全簡單地使用。吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化,活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成,這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散,防止氧氣鈍化層的形成。氦氣和氮?dú)饧兓饔幸蛔詣诱{(diào)控的特征設(shè)計,它保持吸附劑材料于溫度,消除了熱量流失的可能性

氦氣純化器

*   可純化氣體:He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

*   操作壓強(qiáng):1000 psig

*   可去除雜質(zhì):出口雜質(zhì)低于10ppb H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2和CH4,此基于10ppm入口雜質(zhì)總量,其它去除雜質(zhì)包括CF4、CCl4、SiH4 和輕質(zhì)烴。

*   未被去除雜質(zhì):He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn

氮?dú)饧兓?/p>

*   可純化氣體:只有N2

*   操作壓強(qiáng):1000 psig

*   可去除雜質(zhì):出口雜質(zhì)低于10ppb H2O、H2、O2、NO、NH3、CO、CO2和CH4,此基于10ppm入口雜質(zhì)總量,其它去除雜質(zhì)包括CF4、CCl4、SiH4 和輕質(zhì)烴。

*   未被去除雜質(zhì):He、Ne、Ar、Kr、Xe、Rn、N2

純度氣體的保證:VICI氣體純化解決方案



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